제품 세부정보
레지스트 코팅 기계는 당사가 고객을 위해 개발하고 맞춤화한 중소형 코팅 시스템으로 고정밀 모듈식 설계가-특징입니다. 언와인딩 유닛, 콤마 코팅 유닛, 슬롯{4}}다이 코팅 유닛, UV 경화 유닛, 라미네이션&풀링 유닛, 현상&클리닝 유닛, 에칭&클리닝 유닛, 와인딩 유닛을 갖추고 있습니다. 풀림 및 가장자리 수정 후 재료는 코팅 장치로 들어가고, 여기서 쉼표 블레이드 코팅과 슬롯{6}}다이 코팅을 마음대로 전환할 수 있습니다. 그런 다음 UV 경화 장치에 의해 경화된 후 현상 세척 및 에칭 세척이 수행되고 최종적으로 당김 및 가장자리 수정 후 권취됩니다. 파일럿 프로세스 매개변수 및 소규모-배치 생산에 적합합니다.
코팅공정
콤마 블레이드 코팅
고정밀 제어: 콤마 블레이드는 블레이드와 백업 롤 사이의 간격을 통해 코팅 두께를 정밀하게 제어하는 정밀 계량 롤러로, 고점도 유체에 이상적입니다.-
두꺼운 코팅 기능: 일반 블레이드에 비해 쉼표 블레이드는 두꺼운 코팅 용도에 더 적합합니다.
뛰어난 평탄도 : 견고한 구조와 블레이드의 회전운동으로 기판 표면의 요철을 효과적으로 제거하여 균일한 코팅을 보장합니다.
슬롯-다이 코팅
고정밀-필름 두께 제어: 슬롯-다이 헤드는 압출- 방식의 계량 공급을 사용하여 우수한 필름 두께 일관성으로 건식 및 습식 코팅 두께를 안정적이고 정밀하게 제어합니다. 이 제품은 초-두께부터 중간-두께, 저-, 중-, 고-점도 슬러리까지 코팅에 적용됩니다.
고속-연속 코팅: 고효율의 연속 고속-롤{2}}투{3}}생산에 적합하며 대규모 산업 대량 생산에 적합하며 넓은 코팅 속도 범위를 제공합니다.
탁월한 코팅 균일성: 가로 방향과 기계 방향 모두에서 필름 두께 변동이 적고 블레이드 코팅에서 흔히 발생하는 줄무늬나 긁힘이 없어 높은 완성-제품 수율을 제공합니다.
높은 슬러리 활용도: 폐쇄형-챔버 공급은 슬러리 손실을 줄이고 휘발 및 오염을 제한하므로 용제를 함유하고 쉽게 산화되며 가치가 높은- 기능성 슬러리에 적합합니다.
넓은 기판 적응성: 필름, 동박, 알루미늄 호일, 부직포 등 다양한 유연한 기판에 코팅할 수 있으며 기판 표면 평탄도에 대한 내성이 더 강합니다.
핵심 매개변수
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전원 공급 장치 |
3-상 AC 380V ±10%, 50Hz, 22kW |
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공기 공급 |
0.5-0.8MPa 압축공기 |
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코팅방법 |
쉼표 블레이드 + 슬롯-다이 코팅 |
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가이드 롤러 폭 |
500mm |
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코팅 폭 |
0-400mm |
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기계적 속도 |
7m/분 |
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코팅 속도 |
최대. 5m/분 |
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코팅 정밀도 |
0.005mm |
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경화 온도 |
0-100도 |
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무게 |
약. 2500kg(실제 무게에 따라 다름) |
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기계 치수 |
L 6000mm × W 1050mm × H 1850mm(실제 치수에 따라 다름) |
제품특징
이중 코팅 모드 전환: 이 레지스트 코팅 기계는 쉼표 블레이드 장치와 슬롯{0}}다이 코팅 장치를 혁신적으로 통합하여 공정 요구 사항에 따라 자유롭게 전환할 수 있어 장비의 다양성을 크게 향상시킵니다.
전체-공정 포토리소그래피 통합: 레지스트 코팅 기계는 코팅뿐만 아니라 UV 경화, 현상 세척, 에칭 세척 장치까지 포괄하여 레지스트 코팅부터 패턴 처리까지 단일{1}}라인 자동화를 실현합니다.
미크론{0}}수준의 정밀 제어: 이 레지스트 코팅 기계는 고정밀 모듈식 설계를 채택하고 코팅 정밀도가 0.005mm로 안정적으로 제어되어 레지스트 레이어의 균일성과 일관성을 보장합니다.
효율적인 UV 경화 시스템: 이 레지스트 코팅 기계에는-온도 제어 범위가 0~100도인 UV 경화 장치가 내장되어 있어 레지스트의 노출 및 경화 반응을 신속하게 완료합니다.
콤팩트한 파일럿{0}} 규모 설계: 레지스트 코팅 기계는 전체 길이가 6000mm에 불과하고 무게가 약 2500kg이며 설치 공간도 작아 실험실이나 R&D 센터에서 소규모 배치 시험 생산에 이상적입니다.-
유연한 폭 적응: 이 레지스트 코팅 기계는 500mm 가이드 롤러 폭과 0-400mm의 유효 코팅 폭을 제공하여 다양한 크기의 기판에 대한 R&D 요구 사항을 유연하게 충족합니다.
응용 분야 및 산업
평면 패널 디스플레이(FPD) 산업, PCB/FPC 회로 기판 산업, 반도체 제조 산업, 마이크로{0}}전자 기계 시스템(MEMS), 광학 부품 산업, 연구 기관 및 대학.
맞춤 서비스
맞춤형 코팅 기계의 선두주자로서 당사는 언와인딩 장치, 코팅 헤드 장치, 경화 장치, 와인딩 장치, 변속기 및 프레임 장치, 전기 제어 및 검사 장치를 포함한 모든 구성 요소의 맞춤화를 지원합니다.
FAQ
Q: 이 레지스트 코팅기의 코팅 방법의 특별한 점은 무엇입니까?
A: 쉼표 블레이드 장치와 슬롯-다이 코팅 장치가 모두 장착되어 있으며 공정 요구 사항에 따라 자유롭게 전환할 수 있습니다.
Q: 기계의 최대 유효 코팅 폭은 얼마입니까?
A: 가이드 롤러 폭은 500mm이고, 유효 코팅 폭은 0~400mm입니다.
Q: 어떤 경화 방법이 사용되며, 온도 범위는 어떻게 됩니까?
A: 온도 조절 범위가 0~100도인 UV 경화 장치를 사용합니다.
Q: 코팅 및 경화 외에 기계에는 어떤 후처리 기능이-포함되어 있나요?
A: 현상세정 및 에칭세정 장치도 일체화하여 패턴처리를 직접 완료할 수 있습니다.
Q: 기계의 기계적 작동 속도는 얼마입니까?
A: 기계적 속도는 7m/min이고, 최대 코팅 속도는 5m/min입니다.
제품 세부정보 이미지


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